擴散泵作為真空系統的主泵已經(jīng)有幾十年的歷史，傳統的真空鍍膜設備擴散泵加熱是用耗電里比較高的電陽(yáng)絲通過(guò)燒紅來(lái)烘烤真空鍋爐《擴散泵)底部，從而加熱里面的油來(lái)使真空泵里面的溫度上升來(lái)達到設備的工作要求。這種加熱方式使得大部分的里散發(fā)到空氣中，導致熱量損失大，使得工作環(huán)境溫度變高。雖然電爐盤(pán)制作成本低廉，但存在著(zhù):加熱速度慢、容易斷絲、加熱效能下，能耗量大等諸多缺點(diǎn)。還有導線(xiàn)接入區域溫度過(guò)高觸電,區域極易氧化以及人身觸電的的危險。

目前采用電磁加熱方式它可以大大改變這種現象。在實(shí)際使用中，擴散泵需要在一定的壓力范圍內，快速穩定高效的運行，對于擴散泵加熱，采用電磁加熱有著(zhù)一定的優(yōu)勢

一、高效快捷

電磁加熱速度快、熱效率高、相比電爐盤(pán)加快了1/3設備的啟動(dòng)時(shí)間，大大提高了工作效率，也就是省電比電爐盤(pán)30%以上。

二、溫度控制精度高：采用電磁感應方法加熱，可以實(shí)現對擴散泵的精確控制和實(shí)時(shí)調節，大大提高了穩定性和可靠性。

三、安全環(huán)保：電磁加熱無(wú)需燃燒任何燃料，沒(méi)有廢氣產(chǎn)生，不會(huì )對環(huán)境造成污染.

四．當擴散泵底部需要降溫的時(shí)候，電爐盤(pán)由于自身發(fā)熱再傳遞給泵底，如果需要降溫時(shí)電爐盤(pán)雖然斷電了，但是本身還是有很高的溫度，這個(gè)時(shí)候就需要人工去把電爐盤(pán)拉出來(lái)放在外部自然冷卻；改用電磁加熱器就不需要這個(gè)環(huán)節，因為電磁加熱爐盤(pán)線(xiàn)圈是產(chǎn)生渦流使擴散泵底部自身加熱，電磁加熱爐盤(pán)本身沒(méi)有溫度，溫度到了斷電，本身也沒(méi)有余熱。

五．使用壽命

擴散泵電磁加熱爐盤(pán)采用耐高溫銅芯線(xiàn)制作，使用壽命至少5年以上，電爐盤(pán)由于長(cháng)時(shí)間處于高溫，容易燒斷電熱絲，一年應該要換幾個(gè)。

電磁加熱實(shí)施方案

1.確定加熱模式和參數：通過(guò)擴散泵溫度傳感器采集到擴散泵表面和內部的溫度信息，然后根據固定的加熱模式和參數對實(shí)際加熱情況進(jìn)行控制。

2.設計電磁加熱器：根據擴散泵的形狀和尺寸，設計合理的電磁加熱器的大小和形狀，并選用適當的電磁感應加熱裝置。

3.安裝和調試：安裝電磁加熱器、傳感器和控制器等設備，并調試擴散泵加熱系統，確保其良好的工作狀態(tài)。

因此，無(wú)論是在節能上，還是在安全和使用壽命上，變頻電磁加熱器均更高一籌。